抛光液

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SAPOL系列抛光液


产品性能：
• 颗粒分散性好，不易产生划伤
• 磨料和活性添加剂的相互配合，获得高质量的抛光表面
• 优异的抛光效率，即使在高稀释比的情况下使用，仍能获得较高的去除速率
• 较长的使用寿命
产品分类：
• 氧化硅抛光液
• 氧化铝抛光液

SAPOL抛光液

型号

外观

粒径, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

磨粒

性能特点

应用

SAPOL-110

乳白色液体

90-120

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

粒径分布窄,抛光后表面粗糙度低

非金属材料通用

SAPOL-111

乳白色液体

90-120

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

粒度分布宽，抛光速率高，根据客户条件不同，选择不同型号

C向蓝宝石，钼片

SAPOL-112

乳白色液体

90-120

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

SAPOL-113

乳白色液体

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

SAPOL-114

乳白色液体

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

抛光速率高

A向蓝宝石

SAPOL-115

乳白色液体

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

通用性好

A&C向蓝宝石

SAPOL-211

白色液体, 分层

1.3-1.7

13.0-13.5

20-50

1.19-1.21

氧化铝

抛光速率高

C向蓝宝石，单抛

SAPOL-212

白色液体, 分层

0.6-1.2

13.0-13.5

20-50

1.19-1.21

氧化铝

粒径小

SAPOL-213

白色液体

0.6-0.8

>13.5

100-500

1.19-1.21

氧化铝

悬浮性佳

C向蓝宝石，双抛

SAPOL-121

乳白色液体

90-110

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

抛光速率高

陶瓷

SAPOL-321

白色液体

0.6-1.2

13.0-13.5

20-50

1.19-1.21

氧化铈

悬浮性佳

玻璃

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SIPOL系列抛光液


产品性能：
• 颗粒粒径分布适中，去除速率可达0.8-1um/min
• 产品循环寿命长，去除速率稳定
• 抛光过程中不易产生结晶，
• 金属离子含量低，满足不同硅片使用要求

SIPOL抛光液

型号

外观

粒径, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

性能特点

应用

SIPOL-141

乳白色液体

60-110

11.1-12.1

1.0-10.0

1.20-1.25

稀释比高，寿命长


硅片粗抛


SIPOL-142

半透明液体

12-17

11.1-12.1

1.0-10.0

1.20-1.25

SIPOL-143

乳白色液体

60-110

8.0-10.0

1.0-10.0

1.15-1.30

抛光性能佳

锗片


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COPOL系列抛光液


产品性能：
• 少划伤，采用氧化铝和混合磨料两种体系，可定制酸性或碱性液
• 去除速率高，抛光缺陷少，良品率高
• 存储周期长，采用AB体系稳定性好
产品分类：
• 氧化铝抛光液
• 氧化硅抛光液
• 氧化锰抛光液

COPOL抛光液

型号

外观

粒径, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

性能特点

应用

COPOL-130

紫红色液体

0.08-0.12

8.0-9.0

1-10

1.02-1.05

氧化硅

精抛表面质量好

COPOL-231


A液

白色液体

0.3-0.7

8.5±0.5

(混合液)


1-10

1.03-1.07

氧化铝

产品稳定性好，

表面划伤少，

适合粗抛和中抛


B液

紫红色液体

-

1-10

1.00-1.04

NA

COPOL-234


A液

白色液体

0.3-0.7

2.1±0.5

(混合液)


1-10

1.03-1.07

氧化铝

酸性体系


B液

紫红色液体

-

1-10

1.00-1.04

NA

COPOL-431


A液

黑色液体

0.3-1.0

4.5±0.5

(混合液)


1-10

1.03-1.07

氧化锰

去除速率快


B液

紫红色液体

-

1-10

1.00-1.03

NA

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MEPOL系列抛光液


产品性能：
• 颗粒分布窄，能有效去除机械加工痕和粗抛痕
• 良好的阻蚀整平效果，温和化学作用
• 易清洗，避免抛光液残留产生腐蚀
• 优异的抛光效率
• 较长的使用寿命
产品分类：
• 氧化铝抛光液
• 氧化硅抛光液

MEPOL抛光液

型号

外观

粒径, nm

pH

粘度, cps

比重, g/ml

磨粒

性能特点

应用

MEPOL-201

白色液体, 分层

4-7

4-5

100-500

1.2-1.25

氧化铝

速率高

不锈钢粗抛，中抛

MEPOL-202

白色液体, 分层

0.8-1.2

3-4

10-40

1.27-1.30

氧化铝

分散好，稀释比高

不锈钢中抛，精抛

MEPOL-203

白色液体, 分层

0.8-1.0

4-5

1-10

1.05-1.10

氧化铝

表面质量佳

不锈钢五轴机精抛

MEPOL-101

乳白色液体

0.1-0.11

4-5

1-10

1.05-1.15

氧化硅

混合磨料，悬浮佳

MEPOL-102

乳白色液体

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.20-1.29

氧化硅

含双氧水，

镜面效果佳

不锈钢精抛

MEPOL-103

乳白色液体

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.20-1.29

氧化硅

抛光速率高

MEPOL-204

白色液体, 分层

2-4

2-3

20-50

1.05-1.15

氧化铝

速率高

铝合金粗抛

MEPOL-104

乳白色液体

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.27-1.30

氧化硅

无橘皮麻点

铝合金精抛

MEPOL-105

乳白色液体

0.10-0.12

10-10.5

1-10

1.20-1.25

氧化硅

结晶慢

铝合金精抛